可编程控制模块 多设备双线 RS-485/MODBUS RTU 通信方式
简易流量控制安装 在质量流量测量基础上,Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2质量流量计或流量控制器使得设备网络组态更加方便。通过开源RTU协议,Compod™也可以监控或诊断流量控制器的内部系统参数值。用户在配备了Compod™后可以对Smart-Trak®质量流量计和控制器进行更复杂的控制,两路数字输出和一路模拟输入可以对以下工艺参数进行配置
• Physical Vapor Deposition (Sputtering) • 压力监控及控制 • 气体比率控制 • 内部阀门性能监测 • 多报警信号设置 • 客户自定义流量启动停止配置 • 气体累计及可调脉冲输出设置 • 更多...
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